KOSAKA 小坂 ET200A 台阶仪 | 薄膜测厚仪 | 微细形状测定机技术解析

KOSAKA（小坂研究所）ET200A 是一款面向纳米级台阶测定与表面形貌分析的接触式微细形状测定机。其核心设计逻辑是：用极小的测定力配合直动式检出器与花岗岩一体结构，在保证亚纳米级重现性的同时，实现对软质样品表面的安全测量。

关键指标：重现性与分辨率

重现性为 1σ ≤ 1nm。这一指标是评价台阶仪可信度的核心，意味着重复测量同一台阶时，数据离散度的标准偏差不超过 1 纳米，适合薄膜厚度、微结构台阶这类对精度要求苛刻的测量。

分辨率方面，Z 轴 0.1nm，X 轴 0.1μm。Z 轴分辨率的量级决定了它能捕捉极薄的膜层或极浅的刻蚀台阶。

测定力与样品适应性

测定力范围 10μN～500μN（约 1mg～50mg）。这一低力值区间是测量软质样品的关键：生物医学器件、化学涂层、MEMS 等表面在较大接触力下会发生形变或划伤，低测定力可减少对样品的损伤，同时保持探针与表面的稳定接触。

结构上采用直动式检出器与一体花岗岩结构。直动式设计提升了重现性，花岗岩底座则提供了温度稳定性和抗振性，这是亚纳米级测量所需的机械基础。

测量范围与载物台

测定范围 Z 轴 600μm，X 轴 100mm。最大试片尺寸为 Φ200mm × 高度 50mm。

载物台为 Φ160mm，手动 360 度旋转。旋转载物台便于对圆形试片（如硅片）做多角度或圆周方向的形貌评价。

观测与定位

配备彩色 CCD 原位采集设计，可直接观察探针工作状态。这一设计解决了接触式测量中的定位难题：操作者能在屏幕上看到探针与目标区域的相对位置，更准确地选定测试点，避免盲测导致的数据无效。

软件与适用领域

基于 Windows 操作系统的软件为多种表面提供形貌分析。可测参数包括表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等。

适用领域覆盖半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏。

与同系列型号的区分

同页列出 ET4000 系列与 ET10000 作为其他型号。ET200A 在系列中属于基础档：Z 轴测定范围 600μm、分辨率 0.1nm、最大试片 Φ200mm、手动旋转载物台。

ET4000A 支持 2D/3D 表面形状测量，重现性 1σ≤0.5nm，但 Z 轴量程收窄至 100μm，定位为纳米级浅台阶与三维形貌分析。选型分界在于：若台阶高度超过 100μm 或仅需二维轮廓，ET200A 更合适；若需三维形貌且台阶较浅，向 ET4000 系列选型。

选型判断

ET200A 的适用边界是：需要纳米级台阶测定、薄膜厚度评价或微细形貌分析，样品可能较软需低测定力保护，试片尺寸在 Φ200mm 以内、台阶高度在 600μm 以内的场合。

若测量对象为常规金属表面的粗糙度，便携式粗糙度仪更经济；若需非接触测量或超大深宽比结构，应评估非接触式表面形貌测量装置；若试片尺寸超过 Φ200mm 或需三维形貌分析，需向 ET4000 系列选型。低测定力与 CCD 原位观测是其应对软质样品与精确定位的核心能力。

优势品牌：EYE 岩崎、SEN 日森、CCS 晰写速、NPM 日脉、REVOX 莱宝克斯、SERIC 索莱克、SONIC 索尼克、SANKO 三高、TOPCON 拓普康、TOKI 东机产业、NEWKON 新光、HAYASHI 林时计、SIBATA 柴田、SUGIYAMA 杉山电机、OHKURA 大仓、ULVAC 爱发科、TORAY 东丽、EBARA 荏原、ANALYZER 热研、NFK 南国工业、MATSUO 松尾、NIKKATO 日陶、HEIDON 新东科学、JIKCO 吉高、OTSUKA 大塚电子、ITOH 伊藤、kakuhunter 写真化学、WATSON 沃森、RIYYO 理阳、ESSGES 宜格斯、ATAGO 爱拓、PFERD 马圈、TEMTOP 乐控、TSUBAKI 椿本