池田屋新品 FLUORO福乐 4英寸半导体晶圆特氟龙真空吸尘杆 F002-X-06-VP

摘要

FLUORO福乐推出4英寸半导体晶圆特氟龙真空吸尘杆新品F002-X-06-VP，隶属F001/2/3-X-06系列。该新品专为处理4英寸半导体晶圆设计，主体由特氟龙制成，配备球形旋转接头。产品由主体与喷嘴分别订购，本型号由F002-X主体（含106）与06-VP喷嘴组合而成，阀类型为无阀，喷嘴材料为Vespel(R)，长度为232mm，重量31克。晶圆接触面经过光学抛光，可与硅晶圆实现较好的粘附性，适用于半导体晶圆的可靠吸放。

正文

在半导体晶圆搬运与芯片处理环节，真空吸尘杆作为直接接触晶圆的工具，其材质选择、接头形式与喷嘴材料直接影响晶圆表面的洁净度与搬运可靠性。FLUORO福乐正式推出4英寸半导体晶圆特氟龙真空吸尘杆新品F002-X-06-VP，该新品隶属F001/2/3-X-06系列。该产品专为处理4英寸半导体晶圆而设计，主体由特氟龙制成，并配备球形旋转接头，便于在搬运过程中调整角度。

F002-X-06-VP新品由主体与喷嘴两部分组成，需分别订购。以本次型号为例，其组成方式为F002-X（含106）主体与06-VP喷嘴的组合。在阀门配置方面，该型号阀类型为无阀，喷嘴材料为Vespel(R)，主体为F002-X（含106），喷嘴为06-VP。与带阀机型相比，该型号不配置阀门结构，适用于可由外部真空源直接控制吸放的操作方式。

在该系列的产品构成中，依据阀类型分为F001-X、F002-X与F003-X三类主体：F001-X阀类型为NC（常闭），F002-X阀类型为无阀，F003-X阀类型为NO+SW（常开加开关）。依据喷嘴材料分为3F（PCTFE）、PK（PEEK）与VP（Vespel(R)）三类。上述主体与喷嘴可组合形成多种型号，例如F002-X-06-3F、F002-X-06-PK、F001-X-06-VP、F003-X-06-VP等，用户可依据晶圆材质、操作方式与防静电要求选择适配的喷嘴材料。与Z系列机型相比，X系列采用球形旋转接头，长度232mm，适用于需要角度调整的搬运方式。

在产品特性方面，该系列不同型号对应不同的应用侧重。F001/2/3-X-06-VP型号采用光学抛光的晶圆接触面，可与硅晶圆实现较好的粘附性，另有防静电镊子和用于芯片/SMD处理的真空笔可供选择，适用于100毫米（4英寸）半导体硅晶圆加工，长度232mm，重量31克；F001/2/3-X-06-3F型号采用独特的阀门设计，确保半导体晶圆的可靠吸放，另有防静电镊子和用于芯片处理的真空笔可供选择，长度232mm，重量32克；F001/2/3-X-06-PK型号的阀门部件内壁经过精细抛光，可减少颗粒产生，另有用于SMD元件的防静电镊子和真空笔可供选择，长度232mm，重量31克。上述特性使用户可依据晶圆尺寸、洁净度要求与操作习惯选择适宜型号。

在配件与支持方面，该系列提供真空泵、ESD安全管、静电耗散接地套件、魔杖支架与便携式泄漏检测仪等配件选择，并设有C系列组件零件清单与F系列组件零件清单等替换零件资料。用户可通过点击图片下载图纸，了解产品外形与尺寸信息。