小坂KOSAKA台阶仪ET200A 微细形状测定适配软质样品

摘要： 池田屋实业近日上新小坂KOSAKA台阶仪ET200A。该产品采用一体花岗岩结构与直动式检出器，重现性达1σ≤1nm，Z轴分解能0.1nm，测定力可在10μN至500μN之间选择，搭配彩色CCD原位采集设计，面向半导体、薄膜及精加工表面的纳米级段差与形貌分析提供测量方案。

内容：

在半导体、光电子及精密加工领域，表面纳米级台阶形貌与薄膜厚度的准确测量，对于工艺控制与器件性能评估具有实际意义。池田屋实业近日上新小坂KOSAKA台阶仪ET200A，该产品为微细形状测定机，围绕高精度测量与软质样品适配进行了设计。

结构设计与测量方式是该产品的一项特点。ET200A采用一体花岗岩结构，有助于保持测量过程的稳定性；搭配直动式检出器，重现性较高。该产品使用金刚石探针接触测量方式，测定力可在10μN至500μN（约1mg至50mg）范围内选择，微小的测定力可对应软质样品表面，减少测量过程中对样品的损伤。彩色CCD原位采集设计可直接观察探针工作时的状态，便于准确定位测试区域。产品配备多种型号探针，可提供不同过程控制接触力与垂直范围的探头选择。

测量性能方面，ET200A测定范围Z轴为600μm、X轴为100mm，分解能Z轴达0.1nm、X轴为0.1μm，重现性为1σ≤1nm。基于Windows操作系统的软件可为多种表面提供形貌分析，能够测量表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种技术参数。

适用场景方面，ET200A适用于半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示及触摸屏等领域。最大试片尺寸为Φ200mm×高度50mm，载物台为Φ160mm，支持手动360度旋转，便于对试样不同位置进行测量。同系列还提供ET4000系列、ET10000及NT1520等台阶仪机型，用户可结合测量范围与样品尺寸选择相应配置。池田屋方面表示，该产品的引入补充了其在表面形貌测量类产品上的供应选择，围绕选型与应用可提供相应的产品信息与技术支持。