小坂KOSAKA台阶仪ET4000系列 全自动微细形状测定适配晶圆检测

摘要： 池田屋实业近日上新小坂KOSAKA台阶仪ET4000系列。该系列为多机能全自动微细形状测定机，重现性达1σ 0.5nm以内，Z轴分解能0.1nm，提供ET4000A、ET4000M、ET4000L、ET4300等多种机型，面向FPD基板、晶圆及硬盘等微细形状与段差测定提供测量方案。

内容：

在半导体、平板显示与光电子制造中，随着器件结构趋于微细化，表面段差、粗糙度与薄膜厚度的测量对设备的精度、自动化程度与样品适配能力提出了相应要求。池田屋实业近日上新小坂KOSAKA台阶仪ET4000系列，该系列为多机能全自动微细形状测定机，围绕高精度测定与多机型适配进行了配置。

测量性能是该系列的一项基础特点。ET4000系列重现性达1σ 0.5nm以内，测定范围Z轴100μm、X轴100～305mm（Y移动量150～400mm），分解能Z轴0.1nm、X轴0.1μm，测定力可在0.5μN至500μN（约0.05mg至50mg）范围内选择，能够适应从软质样品到硬质涂层的不同测量需求。该系列可自动探索样品表面，有助于提升批量检测中的操作效率。

机型配置方面，ET4000系列针对用途及样品尺寸提供多种选择。ET4000A/ET4000AK可实现2D/3D表面形状测量；ET4000M为高性能泛用微细形状测定机；ET4000L为对应大型工件的全自动微细形状测定机；ET4300适合12英寸样品测量。最大试片尺寸覆盖210×210mm至300×400mm，用户可结合晶圆尺寸、基板规格与工件体积选择相应机型。

应用场景方面，该系列可用于半导体、光伏/太阳能、光电子、化合物半导体、OLED、生物医药及PCB封装等领域，能够对薄膜厚度、台阶高度、粗糙度（Ra、Rq、Rmax等）、划痕深度、磨损深度及薄膜应力（曲率半径法）等进行定量测量。其高精度、高重复性与自动探索功能，为工艺监控与品质评价提供了数据支撑。同系列产品线中还包括ET200A、ET10000及NT1520等机型，可覆盖不同测量精度与样品尺寸的需求。池田屋方面表示，该系列产品的引入补充了其在表面形貌测量类产品上的供应选择，围绕选型与自动化配置可提供相应的产品信息与技术支持。